发明名称 PROCEDE D'ISOLATION LOCALE ENTRE DES TRANSISTORS REALISES SUR UN SUBSTRAT SOI, EN PARTICULIER FDSOI, ET CIRCUIT INTEGRE CORRESPONDANT
摘要 Circuit intégré, comprenant un substrat (1) du type SOI comportant un film semi-conducteur (12) situé au-dessus d'une couche isolante enterrée (11), elle-même située au-dessus d'un substrat porteur (10), le film semi-conducteur (12) comprenant une première zone (Z1), des premiers motifs (21) au dessus de la première zone (Z1) du film semi-conducteur (12) formant des régions de grille de premiers transistors MOS et des premières régions de grille fictives, la première zone (Z1) du film semi-conducteur comportant deux domaines (d1, d2) mutuellement espacés, ledit espace (7) étant comblé par au moins un matériau isolant (9) et situé entre deux régions de grille fictives (240, 241) au dessus d'une région du substrat porteur (11) exempte de tranchée isolante.
申请公布号 FR3036846(A1) 申请公布日期 2016.12.02
申请号 FR20150054853 申请日期 2015.05.29
申请人 STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS 发明人 PERRIN EMMANUEL
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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