| 主权项 |
1.一种电子显微镜,其特征为具有电子显微镜筐体,及设置在该电子显微镜筐体之显示器,于上述电子显微镜筐体内部具有:真空容器;真空泵,其系将该真空容器予以真空排气者;电子源,其系装在该真空容器上方者;样品室,其系装在上述真空容器下方能自上述电子显微镜筐体突出者;及检测器,其系检测来自设置在该样品室样品之电子束者;并加以形成一体。2.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中上述真空泵为涡轮式分子泵。3.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中于上述真空泵与上述真空容器之间,具有缓冲材料。4.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中上述真空泵为涡轮式分子泵,且于上述真空泵与上述真空容器之间,具有缓冲材料。5.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中具有复数上述真空泵,该复数真空泵系以上述真空容器为中心对称配置。6.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中上述电子源为具有奈米碳管之电子源。7.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中上述电子显微镜筐体之纵、横、高度3边之合计为150 cm以下,重量为25 kg以下。8.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中上述真空泵为具有不同排气能力之复数真空排气口之涡轮式分子泵,将低排气能力之真空排气口设于样品室侧,将高排气能力之真空排气口设于电子源侧。9.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中消耗电力为1500 W以下。10.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中于上述真空泵周围设置隔音材料。11.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中设有在抽真空时演奏音乐或显示图像,或显示真空状态之功能。12.如申请专利范围第1项之电子显微镜,其中将一体化之电子显微镜外框之一部分,予以透明着色化。13.一种电子显微镜,其特征为于电子显微镜筐体内装:真空容器,及装于该真空容器之电子源、真空泵、样品室及检测器,及控制电子束轨道之电子透镜,及依电子束检测器所得信号显示图像之显示器,及控制电源,并予以一体化。14.如申请专利范围第13项之电子显微镜,其中上述真空泵为涡轮式分子泵,且于上述真空泵与上述真空容器之间,具有缓冲材料。15.如申请专利范围第13项之电子显微镜,其中具有复数上述真空泵,该复数真空泵系以上述真空容器为中心对称配置。16.如申请专利范围第13项之电子显微镜,其中上述电子源为具有奈米碳管之电子源。17.如申请专利范围第13项之电子显微镜,其中上述真空泵为具有不同排气能力之复数真空排气口之涡轮式分子泵,将低排气能力之真空排气口设于样品室侧,将高排气能力之真空排气口设于电子源侧。18.如申请专利范围第13项之电子显微镜,其系以透明着色构件构成上述电子显微镜筐体之一部分。19.一种电子显微镜,其特征为具有电子显微镜筐体,及设置在该电子显微镜筐体之显示器,于上述电子显微镜筐体内部具有:真空容器;复数涡轮式分子泵,其系以该真空容器为中心对象配置者;缓冲材料,其系设置在该涡轮式分子泵与上述真空容器之间者;奈米碳管,其系装在该真空容器上方之电子源者;样品室,其系藉孔口、闸阀装在上述真空容器下方能自上述电子显微镜筐体突出者;及检测器,其系检测来自设置在该样品室样品之电子束者;并加以形成一体。图式简单说明:图1系实施例1有关之电子显微镜说明图。图2系实施例1有关之电子显微镜真空排气系统说明图。图3系连在真空容器之真空配管与真空泵之接合部说明图。图4系实施例2有关之电子显微镜真空排气系统说明图。图5系用奈米碳管之电子源前端部分电子显微镜观察照片。图6系图5之电子源电子释放特性一例图。图7系实施例4有关之电子显微镜说明图。图8系实施例5有关之电子显微镜隔音材料、真空容器(镜筒)、真空表等结构上面图。 |
