发明名称 Carbon nanotube deposition method by plasma enhnaced vapor deposition
摘要
申请公布号 KR100499123(B1) 申请公布日期 2005.07.04
申请号 KR20000024614 申请日期 2000.05.09
申请人 发明人
分类号 C23C18/00;(IPC1-7):C23C18/00 主分类号 C23C18/00
代理机构 代理人
主权项
地址