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发明名称 APPARATUS FOR MANFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050075791(A) 申请公布日期 2005.07.22
申请号 KR20040003330 申请日期 2004.01.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, DO HYOUNG
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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