| 摘要 |
본 발명은 CuZnSn 물질, CuZn 물질 또는 CuSn 물질을 포함하는 3차원 스퍼터 타겟을 청구한다. 대표 CuZnSn 물질은, 40 원자 퍼센트 내지 60 원자 퍼센트 범위의 Cu 함량; 20 원자 퍼센트 내지 30 원자 퍼센트 범위의 Zn 함량; 및 20 원자 퍼센트 내지 30 원자 퍼센트 범위의 Sn 함량을 가지며, 여기서 상기 3차원 스퍼터 타겟은 500㎜를 초과하는 적어도 하나의 주축 치수를 가지며, 상기 CuZnSn 물질은 0.005㎜ 내지 5㎜ 범위의 입자 크기를 갖는다. 부가적으로, 본 발명은 3차원 스퍼터 타겟을 제조하는 방법을 청구한다. |
