离子布植之增进

摘要

本发明关于使用离子束布植离子于一基材中之方法，其中在离子束中可能出现不稳定，且关于配合此方法使用之离子布植机。本发明亦关于供产生一可快速关闭之离子束的离子布植机。基本上，本发明提供布植离子之方法，其包含当已侦测到一不稳定时关闭该离子束，同时继续该基材相对于该离子束之移动，以留下一横越该基材之扫描线的未布植部位、再次建立一稳定离子束、且藉由布植该路径未布植部位，以完成该扫描线。