一种微阵列奈米探针之母模形成方法

摘要

本发明系有关于一种微阵列奈米探针之母模形成方法，主要利用模具翻模的技术制造探针，利用矽晶片为基板制作，并以蚀刻的方式形成微阵列奈米探针之母模，再注入具生物相容性之矽胶类材料(Polydimethylsiloxane PDMS)并加热，使矽胶类材料硬化，最后将胶状聚合材料与母模分离即可完成微阵列奈米探针。