| 摘要 |
本发明之课题在于提供一种具备有确实地吸附玻璃基板上面，且可安定搬送之吸附机构的搬送用机器人。在具备有吸附玻璃基板3之吸附机构的玻璃基板3之搬送用机器人1中，吸附机构系在手叉4下面侧设有供吸附住玻璃基板3上面的上面吸附机构13。上面吸附机构13系具备有：上面吸附垫18，及可将上面吸附垫18进行上下移动的浮动机构部19。浮动机构部19系具备有：连结有上面吸附垫18的活塞构件20；保持着活塞构件20并将活塞构件20朝上下方向导引的汽缸构件21；以及相对于汽缸构件21使活塞构件20朝下方向偏压的偏压构件22，可在上下方向与径向均安定的状态中进行玻璃基板3的搬送。 |
