| 摘要 |
为了不须要在成膜室(1)内设置覆盖基板(4)外周缘部全体之大型光罩面板(35)，可确实地防止由电极(3)所产生的电浆迂回进入到基板(4)的背面侧，而能谋求成本降低及维修性提升，而本发明之薄膜形成装置的基板运送装置，是在运送台车(23)上，形成较基板(4)大的开口部(36)且立设与诱导结合型电极(3)相对向的隔壁面板(37)，并且在该隔壁面板(37)的反诱导结合型电极(3)侧，配设装设有基板(4)的框架状基板座(38)，使基板(4)配置于前述隔壁面板(37)的开口部(36)之大致部且基板座(38)的外周缘部受到隔壁面板(37)所覆盖隐藏。 |
