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发明名称 PARTICLE VISUALIZATION APPARATUS IN CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 KR20050113980(A) 申请公布日期 2005.12.05
申请号 KR20040039161 申请日期 2004.05.31
申请人 SAMSUNG CORPORATION;KANOMAX JAPAN, INC.;FUJII SHUJI 发明人 LEE, EUN TACK;YANG, GI YOUNG;SUNG, MIN KI;KIM, YONG SHIK;FUJII SHUJI;NAGOSHI MASAHO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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