| 主权项 |
1.一种内藏有电极之发热体的制造方法,具有下列 制程: 形成陶瓷烧结体或陶瓷锻烧体的制程; 将上述之陶瓷烧结体或陶瓷锻烧体形成于电极上 的制程;以及 在上述电极上形成埋设高熔点金属的陶瓷基材,并 藉此形成电极内藏发热体的制程。 2.如申请专利范围第1项所述之内藏有电极之发热 体的制造方法,其更包括在形成上述电极前,上述 陶瓷烧结体或陶瓷锻烧体的形成上述电极的面侧, 研磨加工使中央部中央高起而形成中凸形状的制 程。 3.如申请专利范围第1项所述之内藏有电极之发热 体的制造方法,其中上述内藏于电极的发热体为加 热器(heater)、静电夹头(electrostatic chuck)以及基座( susceptor)其中之一。 4.如申请专利范围第1或2项所述之内藏有电极之发 热体的制造方法,其中上述电极系以高熔点金属为 主要成分的块体或印刷体所构成的线状、板状或 网状的任一种形状的电极。 5.如申请专利范围第1或2项所述之内藏有电极之发 热体的制造方法,其中上述陶瓷烧结体或陶瓷锻烧 体的陶瓷粉末系从氮化铝、碳化矽、氮化矽之中 选择出作为原料,成形之后烧结或锻烧而得。 6.如申请专利范围第1项所述之内藏有电极之发热 体的制造方法,其中上述高熔点金属系从Mo、W、WC 以及Mo2C、W/Mo合金中选择一种以上的金属。 7.如申请专利范围第4项所述之内藏有电极之发热 体的制造方法,其中在上述电极上形成埋设高熔点 金属的陶瓷基材而形成内藏有电极之发热体的制 程系于上述电极上埋设高熔点金属而充填陶瓷粉 末,成形之后做烧结或锻烧而形成陶瓷基材。 8.如申请专利范围第1项所述之内藏有电极之发热 体的制造方法,其中上述在电极上形成埋设高熔点 金属的陶瓷基材的内藏有电极之发热体的制程中, 在上述电极上埋设高熔点金属而充填陶瓷粉末,成 形之后烧结或锻烧而形成陶瓷基材。 9.如申请专利范围第2项所述之内藏有电极之发热 体的制造方法,其中上述研磨加工的制程,相对于 上述陶瓷烧结体或陶瓷锻烧体的全厚A,研磨加工 后上部中凸形状的陶瓷烧结体或陶瓷锻烧体的直 径变小的位置起至顶上部为止的厚度T,其T/A比値 在1/8以下。 图式简单说明: 第1(a)图至第1(c)图为本发明之实施型态的陶瓷加 热器的制造方法的概略说明的示意图。 第2图为本发明之实施型态的陶瓷加热器的制造方 法中所使用的陶瓷烧结体的剖视图。 第3图为实施例1~实施例6以及比较例1制作的各陶 瓷加热器中,所测定之介电层厚度与测定位置(PCD) 的关系图。 |
