利用随选自动化光学检测副系统改善薄膜电晶体液晶显示器面板检测之方法及系统

摘要

在用于TFT–LCD面板之电性与电光学检测的一检测系统中，具有一脉冲照明源之一微解析度区域显像相机，系用以扫描地区并捕捉该地区影像，其中该地区影像系被短照明脉冲所照明且当连续地扫描时能被自动地维持聚焦以解析缺陷点。