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发明名称 METHOD OF CONTROLLING TEMPERATURE IN ASP CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20060019259(A) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20040067832 申请日期 2004.08.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SIM, MOO KYOUNG
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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