| 摘要 |
자동 재료 취급 시스템용 버퍼 스테이션은 작업 처리량 개선을 제공할 수 있다. 또한, 장비의 버퍼 스테이션 내에 접근되는 워크피스를 저장함으로써, 설비의 작동은 장비가 다운되었을 때 중단되지 않는다. 버퍼 스테이션은 베어 웨이퍼 스토커와 같은, 스토커에 통합될 수 있다. 버퍼 스테이션은 제조 설비로 탄력적이고 연속적인 서비스를 제공하기 위하여 확장형 웨이퍼 스토커에 통합될 수 있다. 확장형 저장부는 중간 이송 메카니즘에 의해, 마주하는 벽들 상에 두 개의 선형 어레이의 저장 구획부를 포함하는 웨이퍼의 선형 어레이 저장부로 달성된다. |
