THIN-FILM PLANARIZATION METHOD PLANARIZED THIN-FILM FORMATION METHOD AND THIN-FILM FORMATION VARNISH

摘要

유기 화합물과 유기 용매를 포함하는 박막 형성용 바니시를 사용하여 박막을 형성할 때, 상기 바니시의 유동 활성화 에너지를 28kJ/mol 이하로 하는 박막의 평탄화 방법, 평탄화 박막의 형성 방법, 및 이들 방법에 사용하는 박막 형성용 바니시를 제공한다.