| 发明名称 |
MEASUREMENT OF CARRIER CONCENTRATION OF SEMICONDUCTIVE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1306850(A) |
申请公布日期 |
1973.02.14 |
| 申请号 |
GB19700057393 |
申请日期 |
1970.12.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/21;G01N21/55;G01N21/84;G01R31/26;(IPC1-7):G01N21/48 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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