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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG MIT OBERFLAECHEN-FELDEFFEKTTRANSISTOREN
摘要
申请公布号 DE2315761(A1) 申请公布日期 1973.10.11
申请号 DE19732315761 申请日期 1973.03.29
申请人 MOTOROLA INC., FRANKLIN PARK, ILL. (V.ST.A.) 发明人 RUTLEDGE, JAMES LUTHER, TEMPE, ARIZ. (V.ST.A.)
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L23/535;H01L27/112;(IPC1-7):01L7/64 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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