| 摘要 |
본 발명은 유지보수를 위해 무인 제조장비에 진입한 작업자의 안전사고를 방지하기 위해 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 무인 제어 시스템에 관한 것으로, 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비들, 상기 기판이 적재된 카세트를 임시로 보관하는 스토커, 및 상기 카세트를 반송하는 자동 반송 장치를 포함하는 자동 반송 시스템; 상기 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및 상기 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함하고; 그리고 상기 로컬 제어부는 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 원격제어 차단장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
