| 摘要 |
공초점 라인스캔 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 공초점 라인스캔 장치는 빛을 조사하는 광원부와, 상기 광원부의 전방에 라인 형태의 슬릿이 형성된 광조사부와, 상기 광조사부의 전방에 위치하는 집광렌즈부와, 시편의 상부에 위치하여 상기 집광렌즈부를 통과한 빛을 시편 방향으로 굴절시켜 시편의 일축을 따라 라인형태로 빛이 조사되도록 하고, 시편으로부터 반사된 빛은 통과시켜서 상기 시편이 위치하는 방향과 반대되는 다른 방향으로 조사되도록 하는 광분할부와, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 라인 형태로 수광하여 이미지를 생성하는 라인형 광검출부를 포함하되, 상기 이미지는 상기 라인형 광검출부에 의해 수광되는 빛의 강도가 높을수록 밝은 영역으로 표시된다. |
