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发明名称
摘要
申请公布号	JPS4912273(B1)	申请公布日期	1974.03.23
申请号	JP19690045980	申请日期	1969.06.06
申请人		发明人
分类号	H01L21/52	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
主权项
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