发明名称 VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINER ALUMINIUM-CERMET-SCHICHT AUF EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE2364182(A1) 申请公布日期 1974.07.11
申请号 DE19732364182 申请日期 1973.12.21
申请人 MOTOROLA, INC., FRANKLIN PARK, ILL. (V.ST.A.) 发明人 BURGESS, RONALD REGINALD, PHOENIX;GUREV, HAROLD SAMUEL, PARADISE VALLEY
分类号 H01C17/06;C23C16/40;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/485;H01L27/04;(IPC1-7):C23C11/08;C23C11/02 主分类号 H01C17/06
代理机构 代理人
主权项
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