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发明名称
摘要
申请公布号 JPS49108089(U) 申请公布日期 1974.09.14
申请号 JP19730000331U 申请日期 1972.12.30
申请人 发明人
分类号 G01D7/00;G01R19/165;H01L33/00 主分类号 G01D7/00
代理机构 代理人
主权项
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