发明名称 CONTINUOUS SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号 CA962558(A) 申请公布日期 1975.02.11
申请号 CA19740192639 申请日期 1974.02.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BOERGER, FRANK E.;WHITE, WILLIAM H.;BROWN, WILLIAM A.
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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