| 发明名称 |
HANDOTAISOCHINO SEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5115983(A) |
申请公布日期 |
1976.02.07 |
| 申请号 |
JP19740086982 |
申请日期 |
1974.07.31 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ONO JUICHI;KURATA KAZUHIRO;MORIOKA MAKOTO;ITO KAZUHIRO;KAWAMURA MASAO;ISHIOKA YOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/263;H01L21/265;H01L33/14;H01L33/20;H01L33/30;H01L33/40;H01S3/091 |
主分类号 |
H01L21/263 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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