| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DUENNEN SCHICHT AUS INSB |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2533897(A1) |
申请公布日期 |
1976.03.04 |
| 申请号 |
DE19752533897 |
申请日期 |
1975.07.29 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
YAMAMOTO,NAOKI;OI,TETSU;SATO,KIKUJI |
| 分类号 |
H01L43/12;C30B13/00;C30B19/00;H01F10/187;H01F41/14;H01L43/14;(IPC1-7):C23F17/00;C23C13/00;C23F7/02;H01L43/10 |
主分类号 |
H01L43/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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