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发明名称
HANDOTAITEIDENATSUSOCHITO SONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号
JPS5128778(A)
申请公布日期
1976.03.11
申请号
JP19740100914
申请日期
1974.09.04
申请人
HITACHI LTD
发明人
TOKI HISASHI
分类号
H01L27/04;G05F1/56;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/73
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
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