发明名称 UPPHENGNINGSANORDNING FOR ARBETSSTYCKEN SOM BEHANDLAS I ETT METALLKERL MEDELST EN ELEKTRISK GLIMURLADDNING
摘要 The present invention relates to a suspension device for workpieces to be treated by an electrical glow discharge in a gas atmosphere in a metal container and connected, via an insulated current lead-in, with a pole of the source of current.
申请公布号 SE384043(B) 申请公布日期 1976.04.12
申请号 SE19730011343 申请日期 1973.08.21
申请人 ELEKTROPHYSIKALISCHE ANSTALT BERNHARD BERGHAUS 发明人 RORDORF H
分类号 H05B7/16;C23C8/36;H01L21/00;(IPC1-7):23C8/36 主分类号 H05B7/16
代理机构 代理人
主权项
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