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发明名称
摘要
申请公布号	SU520846(A1)	申请公布日期	1976.07.05
申请号	SU19731905831	申请日期	1973.04.13
申请人		发明人
分类号	H01L21/461;(IPC1-7):H01L21/46	主分类号	H01L21/461
代理机构		代理人
主权项
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