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发明名称
HANDOTAISOCHIKENSAYOZAHYOHYOJIKITSUKIOOTOMACHITSUKUPUROOBAA
摘要
申请公布号
JPS51108579(A)
申请公布日期
1976.09.25
申请号
JP19750033179
申请日期
1975.03.19
申请人
SUWA SEIKOSHA KK
发明人
SATSUMA AKIJI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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