发明名称 MANUFACTURING PROUSS FOR MOS TYPE SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS51118384(A) 申请公布日期 1976.10.18
申请号 JP19750043977 申请日期 1975.04.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUNINOBU SHIGEROU;ISHIHARA TAKESHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/12;H01L29/38 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址