| 发明名称 |
SCATTERING ELECTRON CHECKING DIAPHRAGM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5221764(A) |
申请公布日期 |
1977.02.18 |
| 申请号 |
JP19750097593 |
申请日期 |
1975.08.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKOZAWA SHIGETO;SHINOHARA MINORU;KUBOZOE MORIKI |
| 分类号 |
H01J37/09;H01J37/02;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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