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发明名称
Apparatus for Circulating Liquid chemical
摘要
약액 순환 장치는 잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부; 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 공급되는 상기 약액을 회수하도록 구비되는 약액 회수부; 및 상기 약액 회수부로 회수되는 상기 약액을 상기 약액 공급부로 전달하도록 구비되는 약액 전달부를 포함할 수 있다.
申请公布号
KR101687179(B1)
申请公布日期
2016.12.16
申请号
KR20150075735
申请日期
2015.05.29
申请人
세메스 주식회사
发明人
김연준;권강
分类号
H01L21/02;H01L21/67
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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