基板支撑单元、基板处理装置、及制造基板支撑单元的方法

摘要

根据本发明一实施例，基板支撑单元包括：衬托器，在其上部放置基板；一个以上的吸热构件，其在放置于所述衬托器的上部并与所述衬托器进行热接触(thermal contact)的安装位置、和从所述衬托器的上部移除的解除位置之间转换，并用于在所述安装位置吸收所述衬托器的热量；以及边缘环，其具有选择性地插入固定所述吸热构件的多个固定插槽。

主权项

一种基板支撑单元，其特征在于，包括：衬托器，在其上部放置基板；一个以上的吸热构件，其在放置于所述衬托器的上部并与所述衬托器进行热接触的安装位置、和从所述衬托器的上部移除的解除位置之间转换，并在所述安装位置吸收所述衬托器的热量；以及边缘环，其具有选择性地插入并固定所述吸热构件的多个固定插槽；其中所述多个固定插槽包括所述吸热构件插入在其中的封闭插槽和设置为打开的固定插槽的打开插槽二者；所述边缘环为沿着所述衬托器的边缘区域配置的环形状，所述固定插槽沿着所述衬托器的径向贯通形成。