磁传感器及其磁检测方法

摘要

本发明涉及一种至少将与基板垂直的磁场和与基板平行的磁场进行混合并能够以可将各磁场分量分离的状态检测各磁场分量的磁传感器及其磁检测方法。磁传感器的一个实施方式为对正交的3轴磁场进行检测的磁传感器，该磁传感器具备：磁检测部(50a或者50b)，其具有对第一方向的磁场分量进行检测的磁感应构件；以及磁场方向变换部(60a、60b)，其将与第一方向正交的第二方向的磁场分量以及与第一和第二方向均正交的第三方向的磁场分量变换为第一方向的磁场分量。

主权项

一种磁传感器，具备：多个聚磁部，其与基板平行且相互平行，配置成邻接的两个聚磁部中的一方的聚磁部相对于另一方的聚磁部在长边方向上错开；以及多个磁检测部，其与上述多个聚磁部平行，俯视观察时配置在上述多个聚磁部的邻接的两个聚磁部之间，其中，上述多个磁检测部包含第一磁检测部和第二磁检测部，俯视观察时该第一磁检测部和第二磁检测部配置成分别靠近上述多个聚磁部中的邻接的两个聚磁部，俯视观察时上述第一磁检测部配置成与上述多个聚磁部中的邻接的两个聚磁部中的一方的聚磁部相比更靠近另一方的聚磁部，俯视观察时上述第二磁检测部配置成与上述另一方的聚磁部相比更靠近上述一方的聚磁部，上述多个聚磁部由三个以上的聚磁部构成，配置成一个聚磁部相对于两个聚磁部在长边方向上错开，俯视观察时上述两个聚磁部隔着上述一个聚磁部相对置。