| 摘要 |
반도체 폐가스 처리용 스크러버의 출력 저감방법 및 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예는, 반도체 폐가스 처리용 스크러버 장치에 있어서, 폐가스가 유입되는 폐가스 유입부; 폐가스 유입부에 일단이 연결되며, 타측에는 오리피스가 형성되어 내부에 가압상태가 유지되도록 한 폐가스 공급관; 폐가스 공급관에 연결되어 폐가스가 유입되는 반응기와, 반응기의 일측에 형성되는 토치로 구성되는 스크러버; 일단은 외부의 질소 공급부와 연결되며 타단은 토치와 연결되어 외부로부터 질소 가스가 공급되어 토치에 공급토록 하는 제1관로; 일단이 상기 폐가스 공급관에 연결되되 오리피스의 인입측 전단에 연결되고, 타단은 토치에 연결되며, 상기 일단에 형성되어 개폐작동되는 제1밸브를 구비한 제2관로;를 포함하여 구성된다. 이에 따르면, 공정 가스에 함유된 질소 가스를 회수하여 플라즈마 소스 가스로 재사용함으로써 폐가스를 처리온도까지 상승시키기 위한 열량을 감소시킬 수 있어 스크러버의 총 사용전력을 감소시킬 수 있는 효과가 있다. |
