模块化过滤器卡匣

摘要

本发明涉及用于过滤液体的模块化过滤卡匣，例如，所述液体包含用于半导体制造中的液体。过滤器壳体可界定滤腔，其包括上游部分及下游部分。所述过滤器可进一步包括设置于所述滤腔中的过滤元件。所述过滤元件可至少部分覆盖所述过滤元件的第一侧上的过滤器入口。所述过滤元件可包括矩形褶皱过滤器，其具有一组褶皱，所述组褶皱具有位于所述过滤元件的上游侧上的第一组褶皱尖端及位于所述褶皱过滤器的下游侧上的第二组褶皱尖端。

主权项

一种用于过滤半导体制造液体的过滤器组合件，所述过滤器组合件包括：过滤器壳体，其具有界定入口流径的过滤器入口及界定出口流径的与所述过滤器入口分隔的过滤器出口，所述过滤器壳体界定滤腔，所述滤腔至少部分由上游侧壁、下游侧壁、从所述上游侧壁延伸到所述下游侧壁的第三壁及从所述上游侧壁延伸到所述下游侧壁的第四壁界定，所述滤腔包括与所述入口流体连通的所述滤腔的上游部分及与所述出口流体连通的所述滤腔的下游部分；过滤元件，其设置于所述滤腔中，且至少部分覆盖所述过滤元件的第一侧上的所述过滤器入口，所述过滤元件使所述滤腔的所述上游部分与所述滤腔的所述下游部分分离，所述过滤元件进一步包括矩形褶皱过滤器，其具有一组褶皱，所述一组褶皱由用于过滤来自半导体工艺流体的微米级或亚微米级杂质的过滤器薄膜构成，且具有位于所述过滤元件的上游侧上的面向所述上游侧壁的第一组褶皱尖端及位于所述褶皱过滤器的下游侧上的面向所述下游侧壁的第二组褶皱尖端，所述一组褶皱压缩在一起使得所述褶皱不分离，所述第一组褶皱尖端形成大体上平面的矩形进入交接面，且所述第二组褶皱尖端形成大体上平面的矩形出口交接面，且其中所述流体通过所述过滤元件的主流径垂直于通过所述过滤器入口的所述流径；及经移位平行四边形过滤元件固持区域，其中所述过滤元件设置于所述经移位平行四边形过滤元件固持区域中，使得所述第一组褶皱尖端与所述上游侧壁之间的距离在从所述第三壁到所述第四壁的方向上连续减小，其中所述入口在于所述上游侧壁与所述下游侧壁之间延伸的第三壁上与所述滤腔交接。