EPITAXIAL GROWING APPARATUS IN LIQUID PHASE,申请号JP19760142708-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	EPITAXIAL GROWING APPARATUS IN LIQUID PHASE
摘要
申请公布号	JPS5366881(A)	申请公布日期	1978.06.14
申请号	JP19760142708	申请日期	1976.11.26
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	HIRANO RIYOUICHI;ISHII JIYUN;TANAKA TOSHIO
分类号	C30B19/06;H01L21/208	主分类号	C30B19/06
代理机构		代理人
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