发明名称
摘要
申请公布号 JPS53143657(U) 申请公布日期 1978.11.13
申请号 JP19770047792U 申请日期 1977.04.18
申请人 发明人
分类号 G01D5/249;G01D5/34;H01L31/12;(IPC1-7):G01D5/34 主分类号 G01D5/249
代理机构 代理人
主权项
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