DEPTH MEASURING METHOD OF FINE PATTERNS,申请号JP19770083315-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DEPTH MEASURING METHOD OF FINE PATTERNS
摘要
申请公布号	JPS5417872(A)	申请公布日期	1979.02.09
申请号	JP19770083315	申请日期	1977.07.11
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	YADA TOSHIO;ENDOU ATSUSHI;SHIMA YURI
分类号	G01B11/00;G01B11/22	主分类号	G01B11/00
代理机构		代理人
主权项
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