发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS5466077(A) 申请公布日期 1979.05.28
申请号 JP19770132651 申请日期 1977.11.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OOMORI MASASHI
分类号 H01L27/112;H01L21/768;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L29/417;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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