WATER JET TYPE MASK CLEANING APPARATUS CAPABLE OF RECOVERING CLEANING SOLUTION

摘要

본 발명은 세정액의 고압 분사 수단과 함께 초음파 진동자가 구비되어 피세정물인 마스크의 세정 효과를 극대화함과 동시에 마스크 세정 후 세정액에 포함된 불순물을 제거하여 세정액의 재사용이 가능하도록 구성된 워터젯 타입 마스크 세정 장치에 관한 것이다.