METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL

摘要

본 발명의 실시예에 따른 태양 전지의 제조 방법은, 제1 도전형을 가지는 결정질 실리콘으로 구성된 베이스 영역을 포함하는 반도체 기판 위에 절연막으로 보호막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 보호막을 형성하는 단계는 할로겐 원소를 가지는 할로겐 기체를 포함하는 기체 분위기에서 600℃ 이상의 열처리 온도로 열처리하는 공정을 포함한다.