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发明名称
CONTACTING DEVICE FOR CHECKING DYNAMIC PARAMETERS OF MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号
SU686107(A1)
申请公布日期
1979.09.15
申请号
SU19752171222
申请日期
1975.09.15
申请人
MINCHENKO VLADIMIR A,SU;ZHIN NIKOLAJ ,SU
发明人
MINCHENKO VLADIMIR A,SU;ZHIN NIKOLAJ ,SU
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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