发明名称 CONTACTING DEVICE FOR CHECKING DYNAMIC PARAMETERS OF MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号 SU686107(A1) 申请公布日期 1979.09.15
申请号 SU19752171222 申请日期 1975.09.15
申请人 MINCHENKO VLADIMIR A,SU;ZHIN NIKOLAJ ,SU 发明人 MINCHENKO VLADIMIR A,SU;ZHIN NIKOLAJ ,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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