| 摘要 |
리소그래피 장치의 일부분인 센서로부터 리소그래피 장치의 진동들에 관한 제 1 캘리브레이션 진동 데이터를 얻는 단계 및 제 2 캘리브레이션 진동 데이터를 얻는 단계를 수반하는 방법이 개시되며, 상기 제 2 캘리브레이션 진동 데이터는 리소그래피 장치의 제 1 파라미터 데이터의 성분이다. 제 1 및 제 2 캘리브레이션 진동 데이터로부터 필터가 계산되고, 상기 필터는 제 1 캘리브레이션 진동 데이터에 적용되는 경우 그 출력이 제 2 캘리브레이션 진동 데이터와 더 긴밀히 상관하도록 이루어진다. 그 후, 필터는 리소그래피 공정 시 제 1 파라미터 데이터의 진동 성분의 추산을 얻기 위해 제 1 센서를 이용하여 얻어진 진동 데이터에 적용될 수 있다. |
