| 发明名称 |
MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5548950(A) |
申请公布日期 |
1980.04.08 |
| 申请号 |
JP19780121192 |
申请日期 |
1978.10.03 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KAMO HISAO;ODA YUUJI |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/316;H01L21/337;H01L21/76;H01L29/808 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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