发明名称
摘要
申请公布号 JPS5581946(U) 申请公布日期 1980.06.05
申请号 JP19780164556U 申请日期 1978.12.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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