发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5591877(A) 申请公布日期 1980.07.11
申请号 JP19780165816 申请日期 1978.12.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANAKA IZUMI
分类号 H01L27/112;G11C11/40;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/08;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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