发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55102253(A) 申请公布日期 1980.08.05
申请号 JP19790008953 申请日期 1979.01.29
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 GOTOU HIDETO;AMANO HARUO;TAKEMAE KOUJI
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/76;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址