| 发明名称 |
(B2) ;METHOD OF PRODUCING OF SILICON TETRACHLORIDE FOR EPITAXIAL PROCESSPITAKSII |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL217865(A2) |
申请公布日期 |
1980.08.11 |
| 申请号 |
PL19790217865 |
申请日期 |
1979.08.20 |
| 申请人 |
INST TECH MATERIAL ELEKT |
发明人 |
ZYCH TERESA;LUDWICZAK STANISLAW;SZCZESZEK IRENEUSZ;WISNIEWSKI BOGDAN;RYCZEK WLODZIMIERZ;NIEWCZAS WACLAW P |
| 分类号 |
C01B;C01B33/08;(IPC1-7):C01B/ |
主分类号 |
C01B |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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