Film forming apparatus

摘要

본 출원은 막 형성 장치 또는 막 형성 방법에 관한 것이다. 본 출원에 따르면 기판을 이송시키면서 연속적으로 그 표면에 막을 형성하는 과정에서 형성된 막을 물리적 접촉 등에 의해 손상시키지 않는 가이드 수단을 포함하는 막 형성 장치 및 그것을 이용하는 막 형성 방법이 제공될 수 있다.